四探针电阻测试仪的测试要根据不同材料特性需要配置不同的探头

点击次数：477 发布时间：2023-02-07

　　四探针电阻测试仪所用的测量方法是一种广泛采用的标准方法，在半导体工艺中最为常用。其主要优点在于设备简单，操作方便，精确度高，对样品的几何尺寸无严格要求。除了用来测量半导体材料的电阻率以外，在半导体器件生产中广泛使用四探针法来测量扩散层薄层电阻，以判断扩散层质量是否符合设计要求。

　　四探针电阻测试仪的测试要根据不同材料特性需要，配置不同的探头：

　　1、高耐磨碳化钨探针探头，测量硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；

　　2、专用探头可测试电池极片等箔上涂层电阻率/方阻；

　　3、配合四端子测试夹具，测量电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻；

　　4、球形镀金铜合金探针探头，测量柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。

　　四探针电阻测试仪操作步骤：

　　1、先松开笔身尾部端侧面的固定小螺丝，轻轻脱下尾部航空插口，保证探针头部旋转时同步旋转，防止扭线断线，短接。

　　2、轻轻拧开探针头子，然后小心将铜片拉出，记住七片绝缘片与铜片之间的位置，将断针从铜片卡口座里取下即可。

　　3、特别注意一定不能将铜片取下时的位置错乱，铜片位置按照航空头四芯接线绿红黄黑的顺序一字排列，并且铜片之间按照宽窄顺序互相交叉排列，以免短接。

　　4、安装时铜片及绝缘片按照拆下时的排列轻轻塞进探针头子，并先将探针头子拧紧，再将尾部航空头插上，并且旋紧小螺丝。

　　5、将针装好，注意针头针尾方向，尖头为探针头部。

四探针电阻测试仪