导电四探针电阻测试仪

导电四探针电阻测试仪维护和保养

使用者的维护

为了防止意外发生，请不要接触机内部件。本机器内部所有的零件，不需使用者的维护。如果机器有异常情况发生，请直接与瑞柯仪器公司厂家或其的经销商给予维护。

使用者的修改

使用者不得自行更改机器的线路或零件，如被更改机器后保修则自动失效并且本公司不负任何事故责任。在保修内使用未经我公司认可的零件或附件造成故障也不予保证。如发现送回检修的机器被更改，将机器的电路和零件修复回原来设计的状态，并收取修护费用。

测试工作站

工作位置

工作站的位置选择必须安排在一般人员非必经的处所，使非工作人员选离工作站。如果因为条件限制的安排而无法做到时，必须将工作站与其这它设施隔开并且特别标明“测试工作站”。如果工作站与其它作业站非常接近时，必须特别注意安全的问题。在测试时必须标明“测试执行中，非工作人员请勿靠近”

输入电源

输入：220V±10%  使用频率：50Hz

工作场所

尽可能使用非导电的工作桌工作台。操作人员和待测物之间不得使用任何金属。操作人员的位置不得有跨越待测物去操作或调整测试仪器的现象。测试场所必须随时保持整齐、干净，不得杂乱无章。测试站及其周边之空气中不能含有可燃气体或在易燃物质。

人员资格

本仪器为精密仪器，必须由训练合格的人员使用和操作。

安全守则

操作人员必须随时给予教育和训练，使其了解各种操作规则的重要性，并依安全规则操作。

衣着规定

操作人员不可穿有金属装饰的衣服或戴金属手饰和手表等，这些金属饰物很容易造成意外的感电。

医学规定

不能让有心脏病或配戴心律调整器的人员操作。

测试安全程序规定

一定要按照规定程序操作。操作人员必须确定能够*自主掌控各部位的控制开关和功能。

安全要点

● 非合格的操作人员和不相关的人员应远离测试区。

● 万一发生问题，请立即关闭电源并及时处理故障原因。

1.使用前期准备--测试前准备工作：

1.1.开机预热：将220V电源插头插入电源插座，打开电源开关，让仪器预热15分钟，保证测试数据稳定。若测试仪无常启动，请按以下步骤检查：

①检查电源线是否接触良好；

②检查后面板上的电源开关是否已经打开

③检查保险丝是否熔断，如有必要，请更换保险丝

④ 如经上述检查无误后，测试仪仍未正常启动，请本公司进行解决。

1.2.准备好被测物，链接好测试探头，把测试探头接口与主机接口相连接，并锁定，防止松动或接触不良而对测试结果造成影响.

1.3.接通电源，开启电源开关，待仪器液晶显示屏上显示出厂家和产品信息后，如图3，按“显示”键进入，

1.4.进入测试功能界面如图4、图5；如测试方阻时，请选择液晶显示屏又侧对应 的功能按键“方阻”，则进入方阻测试界面；如测试其他材料时，请选择“材料”则进入材料电阻，电阻率，电导率测试仪界面。

1.5.设置好被测物所需之参数，把被测物放于测试治具平台上操作，测试完毕直接显示测试数据。如配置软件，软件操作说明书同安装软件在一起，请注意查看操作步骤.

以下分别讲解方阻和材料测试的设置

2.四探针方阻测试步骤

2.1.上述步骤中1项，使用前期准备

2.2 把被测物测试所需要之参数数据设定：

2.2.1依据不同之测试样品，选择被测试电流，电流设置：按方向键移动光标至“电流”功能，按“设置”键进入；再按“左右”方向键选择电流数据，选择完毕后按“确定”键进行确认。按照以上步骤和方法选择电压、长度单位、探针形状设定、温度.

2.2.2.探针间距数据的输入，探针间距出厂时已经标定，无需再次测量，探针头上有详细的探针数据资料，探针间距的设置：将光标移动至“探针间距”按“设置”键进入，通过面板上面的“数字”按键输入数据按“确定”键进行确认；按照以上方法和步骤设定”厚度“，注意厚度和探针间距修正系数表已经设置在仪器程序中，自动修正，无需再次输入和查询表格。

2.3.测试探头和测试平台操作

选配测试平台的将被测物放在测试平台上，调节探头探针与样品良好接触，探头有二种，一种是探针是弹簧针型，一种是硬针而探头内腔有弹簧；探头有方型和直线型两种结构；调节测试平台上的水平定位角，保证水平仪水准在中心位置；放置好被测物品，后压下探头

导电四探针电阻测试仪

器具有测量范围宽、精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、外形美观、使用简便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

配套方案：解决各材料状态 --固态、液态、气态、颗粒状 电阻、电阻率、电导率测量

采用四端测量法适用于生产企业、高等院校、科研部门，实验室；是检验和分析导体材料和半导体材料质量的工具。可配置不同测量装置测试不同类型材料之电阻率。液晶显示，温度补偿功能，自动量程，自动测量电阻，电阻率，电导率数据。恒流源输出；选配：PC软件过程数据处理和标准电阻校准仪器，薄膜按键操作简单，中文或英文两种语言界面选择.

四端测试法是目前较*之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。

技术参数

1、电阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、

电   阻：1×10-5～2×105Ω

电导率：5×10-6～1×108ms/cm

分辨率：  小1μΩ
测量误差±5%
2、测量电压量程： 2mV   20mV  200mV 2V 
   测量精度±（0.1%读数）

分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV
3、⑴电流输出：直流电流 0～1000mA 连续可调，由交流电源供电。
   ⑵量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，1000mA, 
   ⑶误差：±0.2%读数±2字

4. 主机外形尺寸：330mm*340mm*120mm

5、显示方式：液晶显示6、电源：220±10% 50HZ/60HZ

7、标配：测试平台一套、主机一套、电源线数据线一套。

测量范围、分辨率（括号内为拓展量程，可定制）

电 阻：10.0×10-6  ～ 200.0×103 Ω, 分辨率 1.0×10-6  ～ 0.1×103 Ω

（1.0×10-6  ～ 20.00×103 Ω, 分辨率 0.1×10-6  ～ 0.01×103

Ω）

电 阻 率：10.0×10-6  ～ 200.0×103  Ω-cm 分辨率 1.0×10-6  ～ 0.1×103 Ω-cm

 1.0×10-6  ～ 20.00×103  Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×103  Ω

方块电阻：50.0×10-6  ～ 1.0×106  Ω/□ 分辨率 5.0×10-6  ～ 0.5×103 Ω/

5.0×10-6  ～ 100.0×103  Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ～ 0.1×103 Ω

由主机、选配的四探针探头和测试台等三部分组成。

主机主要由数控恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式单片机系统组成。自动/手动量程可选；电阻率、方阻、电阻测试类别快捷切换：仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入，简便可靠；具有零位、满度自校功能；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电锂电池供电，适合手持式变动场合操作使用！